搬運、組裝、檢測、切割

龍門結構、直線電機和驅(qū)動器，單驅(qū)結構；

μm級重復定位精度；

直線電機驅(qū)動、光柵尺反饋；

用于精度激光切割設備、檢測設備（AOI）、

激光打標設備等高精密設備；

參數(shù)：

有效行程：根據(jù)需求定制

定位精度：±3μm

重復精度：±2μm

垂直度：±3arc-sec

最大速度：1.5m/s

最大加速度：1G

直線度：±2μm/300mm

分辨率：0.1μm

材質(zhì)：大理石00級別